近紅外干涉窄帶濾光片是紅外濾光片的一種，目前廣泛應(yīng)用于生物識(shí)別等多個(gè)領(lǐng)域，光電探測(cè)器中干涉濾光片或窄帶濾光片在抑制背景躁聲的作用中起著不可或缺的作用，薄膜研究人員在濾光片的設(shè)計(jì)和制造中已經(jīng)做了大量工作，近紅外區(qū)可供研究人員使用的某些薄膜材料，例如 ZnS-mgf2，這些材料組合相對(duì)較軟或不穩(wěn)定，并且它們的峰值波長(zhǎng)受濕度的影響，為了解決這些問(wèn)題，有人提出用離子輔助的方法鍍制溫漂現(xiàn)象小的濾光片，另一種方法是將薄膜膠合密封于玻璃中，通常我們業(yè)內(nèi)叫這種濾光片叫膠合濾光片，用兩到三片不同光學(xué)參數(shù)的濾光片膠合起來(lái)，把膜膠合到中間來(lái)實(shí)現(xiàn)需要的光學(xué)指標(biāo)。
我們采用si和sio2做鍍膜材料，用于1000nm-3000nm波長(zhǎng)范圍，那是因?yàn)檫@類材料在1000nm-3000nm這一波段區(qū)域不會(huì)吸收并且性能穩(wěn)定，另外一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是si由于在紅外區(qū)的折射率很高，所以只需要鍍較少的膜層、較薄的膜層厚度就可以滿足設(shè)計(jì)需要。
該干涉濾光片的光潛特性設(shè)計(jì)要求是：1050nm-1320nmHT、1450-2750nm、800nm之前截止?；撞牧蠟镵9玻璃，基底一側(cè)鍍?yōu)V光片，另一側(cè)鍍?cè)鐾改ぃ▽?duì)透射帶）。這兩種膜應(yīng)具有一定的穩(wěn)定性，可以暴露于空氣中，并通過(guò)環(huán)境試驗(yàn)。
我們采用忘和si和sio2做高低折射率材料。由于濾光片要求1450-2750nm波段截止，截止帶較寬，因此我們采用兩個(gè)中心波長(zhǎng)不同的短波通濾光片膜系對(duì)接來(lái)滿足設(shè)計(jì)要求。濾光片同時(shí)要求1050nm前截止，由于Si在1000nm以前有吸收，加上第二個(gè)短波通濾光片的高級(jí)次反射帶，因此沒(méi)有必要使用顏色濾光片對(duì)短波背景加以抑制。
該膜系設(shè)計(jì)的難度在于連接兩個(gè)短波通膜系時(shí)，即要滿足截止帶寬度，又要使兩膜系連接處不產(chǎn)生透射次峰，同時(shí)還要避免反射帶半波孔對(duì)透射通帶透射率的影響。
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