隨著光學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對(duì)精密光學(xué)鍍膜的要求越來越高，例如超快激光光學(xué)元件、特殊激光光學(xué)元件對(duì)鍍膜都有非常高的要求。一般來講，基片/基材的價(jià)格和質(zhì)量取決于材料,形狀，尺寸，公差和拋光質(zhì)量。

材料

通常第一步就是決定基片的材料，基片材料最好對(duì)于所有波長(zhǎng)的高透射率，幾乎沒有吸收。如果不是透射，則可以使用低成本材料，例如， Borofloat®（SCHOTT AG）用于金屬鏡面。其對(duì)于表面形狀公差，低熱膨脹都是有益的。、

 

形狀

選擇基片時(shí)必須考慮兩側(cè)的形狀，平面，凸面，楔形和凹面的所有組合都是可能的。楔形（例如 30'）可以應(yīng)用在每種表面（平面以及凸面或凹面）上。對(duì)于彎曲基板，半徑符號(hào)有不同的約定。有時(shí)“+”表示凸，“ - ”表示凹。其他用戶將“+”和“ - ”稱為光傳播。在這種情況下，“+”表示“與傳播方向的曲率”，“ - ”表示“相對(duì)于傳播方向的曲率”。為避免混淆，需要明確地表明凹或凸。

 

用戶需要明確邊長(zhǎng)和直徑，除非另有說明，否則厚度描述是指基板的最大厚度，即平凸基板的中心厚度和平凹基板的邊緣厚度。 因此，一般在較厚的一側(cè)測(cè)量楔形板。為了獲得良好的形狀公差，還應(yīng)該注意直徑和厚度的比例。公差除尺寸和材料外，公差對(duì)成本也是最重要的。當(dāng)然，光學(xué)元件必須適合安裝座，因此直徑不應(yīng)大于規(guī)定值。最常見的規(guī)格是-0.1mm。大多數(shù)情況下，厚度在兩個(gè)方向上都是自由的。海納光學(xué)通常指定它的公差為±0.1mm。關(guān)于楔形，并行性和居中的規(guī)范存在很多混淆。請(qǐng)注意，楔形和平行度描述了光學(xué)表面之間的角度，而居中則描述了光學(xué)表面和側(cè)面之間的角度（見上圖）。海納光學(xué)標(biāo)準(zhǔn)基板具有優(yōu)于 5arcmin 的平行度。特制的平行線可以具有低至 10 的平行度。標(biāo)準(zhǔn)楔形基板具有 0.5°或 1°的楔形。根據(jù)基板尺寸，可以實(shí)現(xiàn)更大的楔角。通常，與側(cè)表面成 90°的角度具有 20'的精度。定心是一種額外的光學(xué)處理，可將此精度提高到幾弧分arcmin。

表面形狀公差

表面形狀公差通常由干涉儀測(cè)量，并以λ為參考波長(zhǎng)來表示。沒有進(jìn)一步的陳述，參考波長(zhǎng)是λ= 546nm。為避免混淆，必須清楚地區(qū)分平整度，功率和不規(guī)則性。在下文中，將針對(duì)平面表示平坦度和不規(guī)則性。一般而言，每個(gè)真實(shí)表面或多或少都是彎曲的。真實(shí)表面的“峰”和“谷”被平行平面覆蓋，這些平面之間的距離稱為平坦度。這種平坦性包括兩個(gè)貢獻(xiàn)。第一個(gè)貢獻(xiàn)是表面的球形彎曲，可以用“峰”和“谷”的兩個(gè)最佳擬合球體來描述。相對(duì)于理想平面的該曲率的矢狀表示為功率。這種球形彎曲不會(huì)影響反射光束的質(zhì)量。它只會(huì)導(dǎo)致有限的焦距。第二個(gè)貢獻(xiàn)是最佳擬合球體的偏差，表示為不規(guī)則性。這是評(píng)價(jià)光學(xué)元件質(zhì)量最重要的值。ISO 10110 標(biāo)準(zhǔn)提供了指定表面形狀公差的算法。與測(cè)量結(jié)果具有最佳可比性作為評(píng)價(jià)，所有值都以干涉條紋的數(shù)量給出。

 

涂層應(yīng)力

通常薄的基材不能承受涂層應(yīng)力。涂層會(huì)引起球形變形，這意味著發(fā)生了有限的表明弧高和功率微變化。在圓形基材的情況下，不規(guī)則性就不受該問題的影響。上述問題嚴(yán)重時(shí)，平坦度變差。然而，光束的質(zhì)量不受影響。